Pave the way for green hydrogen for early adopters in the light industry
Ausgangssituation: Wasserstoff wird in der Halbleiterfertigung von Infineon, Villach als Trägergas für Silizium-Precursoren wie Trichlorsilan in der Abscheidung epitaktischer Siliziumschichten verwendet. Nach dem Fertigungsprozess wird Wasser¬stoff unverbraucht und verdünnt an die Atmosphäre abgegeben.…