EUREKA Südkorea 2020 Additive manufacturing of 3D piezoelectric sensor for in-situ monitoring semiconductor robot
Piezoelektrische Keramiken wie z.B. Bleizirkonattitanat (PZT) sind als Sensormaterial weit verbreitet. PZT, ein keramisches Perowskitmaterial, das einen ausgeprägten piezoelektrischen Effekt zeigt (das Auftreten einer elektrischen Spannung an Körpern, wenn sie deformiert werden werden – bzw das umgekehrte…