Evaluating the limits of EELS and DPC for qualitative and quantitative analysis of trace elements in WBG semiconductors
Die exakte Erfassung von Dotierstoffen in sogenannten „Wide Bandgap-Halbleitern“ (WBG SCs) stellt nach wie vor eine Herausforderung dar, die die Analysemöglichkeiten in industriellen Prozessen stark einschränkt.
Die Dominanz von Silizium (Si) während der letzten Jahrzehnte in der Halbleiterindustrie…