Design and Operation of Future Cleanrooms
Reinräume sind hochkomplexe Einrichtungen, die die Voraussetzung für zahlreiche Fertigungsprozesse (Halbleiter, pharmazeutische Produkte, Satelliten) schaffen. In diesen Räumen müssen extrem hohe Qualitätsanforderungen an die Luft im Raum (Partikelkonzentration, Temperatur, sowie flüchtige Substanzen,…