Mikro- und nanoelektronische Komponenten und Systeme sind unverzichtbar für moderne Produkte und Dienstleistungen, ermöglichen Innovation und steigern damit die Wettbewerbsfähigkeit der Unternehmen in allen wesentlichen Wirtschaftszweigen. Die Beherrschung der Technologien und Methoden im Bereich der…

Im Rahmen des Projekts VMag soll eine neuartige Cantilever Plattform für Magnetkraftmikroskope (MFM) entwickelt werden. Diese soll es erstmalig erlauben gleichzeitig alle drei Komponenten des magnetischen Feldvektors mit einigen Nanometern an örtlicher Auflösung und mit hoher Feldauflösung zu messen.…