Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) auf Basis des piezoelektrischen Effekts finden vielfältige Anwendungen in Sensorik und Aktorik, beispielsweise als Mikrofone oder Lautsprecher in Tablets oder Smartphones. Die Entwicklung solcher komplexen Systeme erfordert jedoch ein genaues Verständnis der zugrunde…