Lam Research

Lam Research AG

Villach
Kärnten
ÖSTERREICH
Partnerkategorie Unternehmen
WWW http://www.lamresearch.com

Projektbeteiligungen

Als Partner

ASSIC

abgeschlossen 2015-2018
ASSIC Austrian Smart Systems Integration Research Center
Mikro- und nanoelektronische Komponenten und Systeme sind unverzichtbar für moderne Produkte und Dienstleistungen, ermöglichen Innovation und steigern damit die Wettbewerbsfähigkeit der Unternehmen in allen wesentlichen Wirtschaftszweigen. Die Beherrschung der Technologien und Methoden im Bereich der...

SensSemicon

laufend 2018-2019
Intelligente Sensorsysteme in der Halbleitermaschinenproduktion für prädiktive Instandhaltung
Eines der wesentlichen und zentralen Themen der Zukunft ist industrielle Fertigung gemäß den Prinzipien der Industrie 4.0, d.h. unter Nutzung intelligenter Maschinen und Produktionsabläufe. Gerade jene Industrien, die Teil der Wertschöpfungskette zur Fertigung von hochkomplexen mikroelektronischen Komponenten...

MuZoDry

abgeschlossen 2018
Multi Zone Drying
Jeder auf dem Spin-Verfahren basierende Ätz und Reinigungsprozess erfordert am Ende der Bearbeitung das Abspülen der Prozesschemikalie mit DI Wasser und die Trocknung des Wafers. Besonders beim Aufbringen von Isopropanol (IPA) für die Trocknung des Wafers, nach dem abschließenden Spülschritt mit DI...

DO it Clean

abgeschlossen 2019-2020
Design and Operation of Future Cleanrooms
Reinräume sind hochkomplexe Einrichtungen, die die Voraussetzung für zahlreiche Fertigungsprozesse (Halbleiter, pharmazeutische Produkte, Satelliten) schaffen. In diesen Räumen müssen extrem hohe Qualitätsanforderungen an die Luft im Raum (Partikelkonzentration, Temperatur, sowie flüchtige Substanzen,...

NaPaRe

laufend 2020-2021
Nano Particle Reduction
Das Ziel des Projektes ist eine umfassende Analyse aller möglichen Arten und Wege, wie kleinste Partikel auf der Waferoberfläche kommen können, sowie die Entwicklung wirksamer Methoden zur Vermeidung, Verringerung oder Entfernung.